AT410 臺式熱原子層沉積

描述

AT410 工具是市場上具成本效益的原子層沉積系統(tǒng)。半導體級組件和金屬密封管線以及快速脈沖閥使研發(fā)機構能夠快速訪問高質量的 ALD 薄膜，以快速篩選概念。 該工具擁有達到或超過市場上其他工具的功能，而成本只是其中的一小部分。

技術特點

直徑高達 4“ 的樣品架（可定制以容納小零件、不尋常的形狀）

可變過程壓力控制 0.1 至 1.5 TORR

多達 5 種前驅體 - 標準

樣品上游的所有金屬密封系統(tǒng)

7“ 觸摸屏 PLC 控制系統(tǒng)

以規(guī)定的劑量量精確地計量母離子

室溫從室溫到300°C±1°C;

前驅體溫度從室溫到 150 °C ± 2 °C（帶加熱夾套）

市場上占地面積很小（2.5 平方英尺），臺式安裝和潔凈室兼容

系統(tǒng)維護簡單，公用設施和前驅體使用率很低

流線型腔室設計和小腔室體積

提供快速循環(huán)能力（高達 1.2nm/min Al2O3）和高曝光、深度穿透處理

全硬件和軟件聯(lián)鎖，即使在多用戶環(huán)境中也能安全運行

該工具可以沉積各種熱原子層沉積材料

其他

系統(tǒng)出廠時預裝了多個標準配方，控制器中預裝了幾個標準配方

在購買討論期間待定的確切配方組合

為所有系統(tǒng)材料和用戶定義的設備要求提供工藝開發(fā)支持

應用領域

原子層沉積技術由于其沉積參數(shù)的高度可控型（厚度，成份和結構），優(yōu)異的沉積均勻性和*性使得其在微納電子和納米材料等領域具有廣泛的應用潛力。該技術應用的主要領域包括：

1） 晶體管柵極介電層（high-k）和金屬柵電極（metal gate）

2） 微電子機械系統(tǒng)（MEMS）

3） 光電子材料和器件

4） 集成電路互連線擴散阻擋層

5） 平板顯示器（有機光發(fā)射二極管材料，OLED）

6） 互連線勢壘層

7） 互連線銅電鍍沉積籽晶層（Seed layer）

8） DRAM、MRAM介電層

9） 嵌入式電容

10） 電磁記錄磁頭

11） 各類薄膜（<100nm）